3月18日，上海新国际博览中心，2014国际半导体设备及材料展览会开幕。这个全球最大的泛半导体展会融汇了全球最新技术和产品，代表着半导体、平板显示和太阳能光伏行业全球领先水平。

    邢台先腾光电科技有限公司携完全自主知识产权的LED光刻机生产技术在展会上亮相。其中大尺寸亚微米i—线光学透镜设计、光刻机整机实时控制系统软件和最新的系统软件架构、完整的产品集成供应链等多项国内首创、国际领先水平的技术吸引了众多同行的眼球，受到与会国内外专家的广泛赞誉。

    位于邢台市经济开发区的先腾光电公司，是北京京先腾科技有限公司与邢台当地矿产企业合作创办。该公司是先进科技与民间资本有效对接的结晶，是矿产企业转型进入先进装备制造业的典型范例。在成立不到一年的时间，该公司便在其荷兰研发中心成功研制出第一台成品光刻机AT-STPPER100。

    光刻博士回国闯“芯”天，几十项专利苦寻“伯乐”

     桂成群，先腾光电的主要发起人，早年毕业于清华大学，博士学位。上世纪九十年代，远赴荷兰ASML公司从事光刻机研究，发明了几十项专利。

    光刻机对常人来说，是一个陌生的事物。每颗芯片诞生之初，都要经过光刻技术的锻造。光刻机就像个以光为刃的铸剑高手，将硅片从一粒顽石变为智慧之脑，一闪之间，母版上复杂的电路设计图形就会转化成硅片上细微繁密的沟壑纹理。谁掌握了这种利刃，就拥有了集成电路产业发展水平的技术掌控权。因此，光刻机是半导体行业中技术含量最高的核心装备，被业内誉为“科技王国皇冠上的明珠”，是全球技术最高端、产业门槛最高的行业之一。目前，全球市场上提供量产商用的半导体光刻机的厂商只有荷兰ASML和日本尼康、佳能三家。

    2010年，回国后的桂成群在北京成立了京先腾科技有限公司，潜心研究光刻技术，希望有一天能生产出国产光刻机。同时，也在国内积极寻求投资伙伴。由于多数投资者对这个产业并不了解，桂成群多次碰壁。

    本地资本和先进技术对接 ，“无中生有”打造高新企业

    一次偶然的机会，沙河市企业家胡海存结识了桂成群，当提起投资光刻项目时，多年涉足矿山开发的老胡顿时来了精神。“转型”是他多年的一个梦想，如果真能进入高新企业，自己求之不得。

    但听到需要投资几个亿甚至十几个亿后，老胡倒吸了一口凉气。虽然没有立马合作成功，但老胡也对光刻项目有所了解。

    在去年3月份举办的2013上海国际半导体设备及材料展览会上，桂成群邀请老胡一同观展，并希望他到北京投资，一起加入中国的光刻事业。

    邢台市政府主要领导得知这个消息后，认为这是一个引导矿产企业转型、承接北京先进科研成果，融入京津冀一体化发展大势的千载难逢的机遇，表示市政府全力支持，并希望这个高新项目在邢台开花结果。

    好的项目从来不缺乏战略投资者。就在这时，南方一发达城市听说这个项目后，其政府负责人马上带领相关部门进京登门拜访。不仅提出了一揽子优惠政策，还承诺了颇让桂成群心动的资金支持。就在合作协议草稿已经放到了桂成群案头的时候，老胡和邢台市相关部门的人员赶到了：“这项目谁也别想抢走。投资高新项目，咱‘不差钱’。”

    在邢台市政府和邢台经济开发区的积极争取和感召下，桂成群终于做出了抉择。

    合作双方以“光电”的速度开展工作。2013年4月28日，投资人胡伟科与京先腾公司在邢台市经济开发区合资设立邢台先腾光电科技有限公司。2013年5月18日，在中国·廊坊国际经贸洽谈会，邢台市与先腾光电签订合作协议，该公司一期LED光刻机产业化项目正式启动，投资5亿元，主要建设生产适用于LED芯片的光刻机生产与制造，逐步向泛半导体光刻机、封装光刻机拓展，实现光刻机生产的规模化、系列化。

    省发改委高新技术处副处长张大海认为，“通过商业运作，实现本地资本和国内外先进技术对接，‘无中生有’打造高新企业，这种模式的创新对于加快转变经济发展方式，推进经济结构战略性调整，具有十分重要的现实意义。”

    海外并购与创新驱动，卓越研发团队注入“核能量”

    “光刻机在国外有30多年的历史，我们要实现抢跑，缩短与国外的差距，必须独辟蹊径，才能击破魔咒。”桂成群说，在技术基础薄弱和国外封锁的情况下，用好的管理和组织方式，照样可以掌握复杂的技术系统。

    荷兰埃因霍温地区是全球智力最密集的地区，每万人发明专利15件，是全球高端装备的重镇。2013年8月28日，先腾公司在荷兰埃因霍温地区设立全资子公司——荷兰先腾科技公司，作为承接技术、团队、业务转移的载体和海外研发中心。原荷兰SIMAX光刻系统开发公司整套光刻机生产技术、知识产权和供应链全部移交，主要高管和核心技术人员加入荷兰先腾公司继续开展后续研发工作。

    “公司目前已经积聚了一大批在光学、高精密测量、自动控制、系统架构与软件设计等领域能力卓越的国际性高科技研发人员。其中，50%以上为硕士、博士以上学历，外籍工程师和研发人员十几人。”先腾光电技术总监汉斯认为，卓越的研发团队无疑为企业发展注入了“核能量”。

    通过并购，邢台先腾光电拥有完全自主知识产权的光刻机生产技术，其中在大尺寸亚微米i－线光学透镜设计、光刻机整机实时控制系统软件和最新的系统软件架构、完整的产品集成供应链等技术领域属于国内首创，国际领先水平。

    经过一年的消化、吸收、再创新，在2014国际半导体设备及材料展览会上，先腾光电亮出了完全自主知识产权的LED光刻机生产技术，震惊四座。

    “我们与国际光刻机先进水平的差距已大为缩小。我们渐渐找到了感觉与方法，相信我们的加速度会越来越高的。”桂成群说，先腾公司有自己的中国梦，一是做出中国自己的光刻机，让全世界尊重中国的科技；二是为中国打造优秀创新团队。

    现在，梦想正在走向现实。